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FOUP
物流用語定義
FOUP（Front Opening Unified Pod）：半導体製造において、ファブ内の処理装置間で 300mm シリコン・ウェハを輸送するために使用される標準化された密閉容器です。FOUP は制御された内部環境（粒子フリー、窒素パージ）を維持し、装置のロードポートに直接インターフェースします。ウェハをファブ間（例：特殊工程のため）で輸送する必要がある場合、shock および tilt indicator を備えた FOUP 互換輸送コンテナが使用されます。FlashGL の半導体 OBC サービスには FOUP 準拠の取扱手順およびクリーンルーム入室手順に関する courier 訓練が含まれます。
