FOUP

Definiție

Container unificat cu deschidere frontală (FOUP): Un container etanș standardizat folosit în fabricația de semiconductori pentru a transporta waferi de siliciu de 300 mm între uneltele de procesare dintr-o fabrică. FOUP mențin un mediu intern controlat (fără particule, purjat cu azot) și se interfațează direct cu porturile de încărcare ale echipamentului. Când waferii trebuie expediați între fabrici (de exemplu, pentru procesare specializată), se folosesc containere de transport compatibile FOUP, cu indicatori de șoc și înclinare. Serviciul OBC pentru semiconductori al FlashGL include protocoale de manipulare conforme FOUP și instruirea curierilor privind procedurile de acces în cameră curată.