Quét để theo dõi
FOUP
Thuat ngu Hau canĐịnh nghĩa
FOUP (Front-Opening Unified Pod): Container kín tiêu chuẩn dùng trong sản xuất bán dẫn để vận chuyển wafer silicon 300mm giữa các thiết bị quy trình. FOUP duy trì môi trường kiểm soát bên trong (không hạt, xả khí nitơ) và kết nối trực tiếp cổng nạp thiết bị. Khi wafer phải vận chuyển giữa các nhà máy (như quy trình đặc biệt), dùng thùng vận chuyển tương thích FOUP đi kèm chỉ báo va đập và nghiêng. Dịch vụ OBC bán dẫn của FlashGL bao gồm cách xử lý này.
