FOUP

Definición

FOUP (Front Opening Unified Pod): Contenedor sellado estandarizado usado en la fabricación de semiconductores para transportar obleas de silicio de 300 mm entre herramientas de proceso dentro de una fábrica. Los FOUP mantienen un entorno interno controlado (libre de partículas, con purga de nitrógeno) e interactúan directamente con los puertos de carga del equipo. Cuando las obleas deben enviarse entre fabs (p. ej., para procesamiento especializado), se usan contenedores de envío compatibles con FOUP con indicadores de choque e inclinación. El servicio OBC de semiconductores de FlashGL incluye protocolos de manejo conformes a FOUP y capacitación del mensajero en procedimientos de entrada a sala limpia.