FOUP

Logistikbegriffe

Definition

Front Opening Unified Pod (FOUP): Ein standardisierter versiegelter Container, der in der Halbleiterfertigung genutzt wird, um 300-mm-Siliziumwafer zwischen Bearbeitungswerkzeugen innerhalb eines Fabs zu transportieren. FOUPs halten eine kontrollierte interne Umgebung (partikelfrei, stickstoffgespült) und koppeln direkt an Geräteladeports. Müssen Wafer zwischen Fabs versendet werden (z. B. für Spezialbearbeitung), werden FOUP-kompatible Versandcontainer mit Stoß- und Neigungsindikatoren genutzt. FlashGLs Halbleiter-OBC-Service umfasst FOUP-konforme Handhabungsprotokolle und Kurierschulung zu Reinraumeintrittsverfahren.

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