FOUP

Termes Logistiques

Définition

FOUP (Front Opening Unified Pod) : Conteneur scellé standardisé utilisé en fabrication de semi-conducteurs pour transporter les plaquettes de silicium de 300 mm entre les équipements de procédé. Le FOUP maintient un environnement interne contrôlé (sans particules, balayage azote) et s'interface directement avec les ports de chargement des équipements. Lorsque les plaquettes doivent être transportées entre usines (procédé spécial), des caisses compatibles FOUP équipées d'indicateurs de choc et d'inclinaison sont utilisées. Le service OBC semi-conducteurs de FlashGL inclut ce type de manutention.

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