FOUP

Definíció

Front Opening Unified Pod – szabványos, lezárt tartály, amelyet a Semiconductor gyártásban használnak a 300 mm-es szilícium lapkák szállítására a feldolgozószerszámok között egy gyárban. A FOUP-ok ellenőrzött belső környezetet tartanak fenn (részecskementes, nitrogénnel öblített) és közvetlenül kapcsolódnak a berendezés betöltő portjaihoz. Amikor az ostyákat az üzemek között kell szállítani (pl. speciális feldolgozáshoz), akkor a FOUP-kompatibilis szállítókonténereket ütés- és dőlésjelzőkkel kell ellátni. A FlashGL Semiconductor OBC szolgáltatása FOUP-kompatibilis kezelési protokollokat és futároktatást tartalmaz a tisztatér-belépési eljárásokról.